Установка магнетронного напыления CVC601.

Вакуумная установкаST_1.jpg - 1.30 MB магнетронного распыления была модернизирована для напыления на поликоровые подложки, которые применяются преимущественно при изготовлении тонкопленочных и тонкопленочных гибридных СВЧ ИМС. Конструтивно установка состоит их двух частей: шкаф управленияи автоматики и модуль вакуумной камеры с навесным обрудованием, обшитый легкосъёмными панелями Управление установкой возможно в трех режимах: автоматический, ручной и сервисный (отладочный).

 

Основные технические параметры приведены ниже в таблице

Вакуум Безмаслянная откачка, не хуже чем 0,00005 Pa
Нагрев Галогенные лампы, от 50 до 400 град
Автоматическое газонатекание 2 рабочих газа
Магнетроны 3 шт.
Позиционирование экранов есть
Вращение карусели есть
Кол-во подложек до 40 шт.
Охлаждение вода
Напуск в камеру азот
Управление от ПК
Контроль толщины покрытия датчик сопротивления

Управление всем оборудованием установки осуществляется от персонального компьютера встроенного в шкаф управления. Для удобства работы оператора и исключения аварийных ситуаций связанных с человеческим фактором разработанное программмное обеспечение имеет автоматический режим,который позволяет без участия оператора выполнять функции по откачке вакуумной камеры, регенерации насоса, гашение установки, напуска в камеру, а также выполнение длительного технологического процесса по технологической карте (по рецепту). Удобный и понятный интерфейс программного обеспечения при работе с технологической картой позволяет написать рецепт процесса в считанные минуты. Рецепт представляет собой требуемую технологом последовательность операций (шагов). Критериями выполнения текущего шага и переход к следующему могут быть следующие: по времени, по положению заслонки, по значения датчика сопротивления. Для обеспечения повторяемости технологических процессов рецепты имеют возможность работы с файлами (запись в файл, чтение из файла).

Кроме того программное обеспечение постоянно отслеживает возможные аварийные ситуации, предотвращая выход дорогостоящего оборудования из строя: пропадание охлаждения для технологических источников, криогенного насоса или нагревателя, короткое замыкание в магнетронах, падение вакуума в камере ниже критичного уровня и т.д

 
                Срок выполнения договора 6 месяцев, цена и параметры договорные
ST_2.jpg - 699.87 KBST_3.jpg - 295.64 KBSANY1379.JPG - 968.03 KBST_6.JPG - 488.86 KB
 
TBEx