Установка ТЕМП-74М.

 

Установка для одностороннего и/или двустороннего магнетронного напыления на керамические подложки (ВК 100, ситалл, и т.д.) размером 60*48 мм следующих материалов:
  •  резистивных пленок из материалов типа РС - 3710; РС - 5406; РС-1004, и т.д.;
  • пленок титана, тантала, хрома, ванадия и т.д.; 0.JPG - 2.38 MB
  •  алюминия толщиной до 24 мкм, меди до 24 мкм;
ОПИСАНИЕ
1. Состав  установки
·       Система откачки:
- безмасляный спиральный насос со скоростью откачки не менее 9,7 л/сек;
- турбомолекулярный насос или криогенный насос со скоростью откачки по воздуху не менее 1000 л/с).
·       Вакуумная камера из нерж. стали с системой охлаждения и со смотровым окном.
·       Подложкодержатель со сменными кассетами:
- для одностороннего напыления подложек с количеством позиций не менее 100 (позиция под размер подложек 60*48 мм).
- для двустороннего напыления подложек с количеством позиций не менее 100 (позиция под размер подложек 60*48 мм).
·       Автоматическая система управления процессом откачки.
·       Высоковакуумный затвор.
·       Система контроля вакуума:
- 1 низковакуумный вакуумметр на форвакуумной магистрали;
- 1 широкодиапазонный вакуумметр для контроля давления в камере.
·       6 прямоугольных магнетронов с эффективной зоной распыления по длине не менее 250 мм, с максимальной мощностью 5 кВт.
·       2 импульсных источника питания магнетронов (до 100 кГц) 5 кВт.
·       2  источника ионной очистки с блоком питания.
·       Система нагрева подложек до заданной температуры, с контроллером задания и поддержания температуры до 3500С.
·       Автоматическая система регулировки технологических газов (Ar, O2):
- 1 регулятор расхода газа, калиброванный на аргон 100 мл/мин;
- 1 регулятор расхода газа, калиброванный на кислород 100 мл/мин.
·       Газовые трубопроводы из импортной полированной нержавеющей трубки диаметром 6 мм, все соединения типа Swagelok.
·       Управляемая заслонка с возможностью предварительной очистки мишени любого магнетрона.
·       Возможность работы в ручном, наладочном и полностью автоматическом режиме по предварительно написанному рецепту.
 

2. Технические параметры установки «ТЕМП-74М»

Наименование параметра

Значение

Напряжение питания установки

380 В, 50 Гц

Максимальная мощность установки, не более

15 кВт

Холодопроизводительность чиллера, не менее

10 кВт

Расход сжатого воздуха (давление 0,4÷0,6 МПа), не более

2 м3

Количество подложек размером 60*48 мм обрабатываемых за 1 цикл, не менее

100 шт

Рабочий ток магнетронов регулируемый

0,1 ÷ 8 А

Рабочее напряжение магнетронов

300 ÷ 600 В

Размеры мишеней

375*75*8 мм

Предельное остаточное давление в камере, не более

3*10-4 Па

Рабочий ток ионного источника

50 ÷ 350mА

Максимальное напряжение ионного источника

3000 В

Диапазон рабочего давления магнетронов

0.1 ÷ 1 Па

Максимальная температура нагрева подложек

350 0С

Нестабильность температуры подложек

±5 %

Разброс по сопротивлению квадрата резистивной пленки по длине эффективной зоны распыления, не более

10 %

Среднее время цикла напыления Cr(0,1 мкм)Cu(5 мкм) с предварительным нагревом пластин до 300 0С

5,5 час

Габаритные размеры со стойкой питания и управления, ширина*глубина*высота, мм

1600*2000*2300

Масса со стойкой питания и управления, кг

1000

 

 В стоимость включены дополнительные расходы:

1.     Упаковку, перевозку, программное обеспечение, страхование, уплату таможенных пошлин, налогов, сборов и других обязательных платежей;
2.     Обучение персонала Заказчика в течении 7 рабочих дней;
3.     Постановка технологических процессов и написание рецептов по техническому заданию Заказчика;
Опционално возможна поставка дополнительных мишеней;

 

Гарантийные обязательства

      Срок гарантийного обслуживания и ремонта установки составляет  1 год со дня подписания товарной накладной и акта приема передачи установки.

               Стоимость установки магнетронного напыления металлов договорная.

-74 .jpg - 1.60 MB

 
TBEx